Ferroelectricity in Doped Hafnium Oxide Materials, Properties and Devices

Ferro-elektriciteit in gedoteerd hafniumoxide: materialen, eigenschappen en apparaten omvat alle aspecten met betrekking tot de structurele en elektrische eigenschappen van HfO2 en de implementatie ervan in halfgeleiderapparaten, inclusief een vergelijking met standaard ferro-elektrische materialen. De ferro-elektrische en veldgeïnduceerde ferro-elektrische eigenschappen van op HfO2 gebaseerde films worden als veelbelovend beschouwd voor verschillende toepassingen, waaronder niet-vluchtige geheugens, veldeffecttransistoren met negatieve capaciteit, energieopslag, oogsten en koeling in vaste toestand. Fundamenten van ferro-elektrische en piëzo-elektrische eigenschappen, HfO2-processen en de impact van doteermiddelen op ferro-elektrische eigenschappen worden ook uitgebreid besproken in het boek, samen met faseovergang, schakelkinetiek, epitaxiale groei, dikteschaling en meer.